【康沃真空網】真空有不同的程度(簡稱真空度),通常情況下按以下標準來劃分。
(1)低真空領域(105~103Pa)
氣體的物理性質和大氣壓下的空氣狀態基本沒有區別,該真空領域的主要特征是真空容器內外產生強大的壓力差。利用這一特征的吸引和吸附技術,在產業領域被廣泛利用。
(2)中真空領域(103~10-1Pa)
氣體的流體性質和大氣壓下的空氣狀態相比可以忽略。該領域物質的沸點降低,在更低溫度下即可實現物質的蒸發。
(3)高真空領域(10-1~10-5Pa)
以稀薄氣體為特征的真空特性成為主導,氣體分子的平均自由程增大。
(4)超高真空領域(10-5~10-8Pa)
包括真空容器壁上的吸附分子在內,氣體分子的存在幾乎可以忽略。
(5)極高真空領域(<10-8Pa)
接近完全的真空狀態。固體的清潔表面可以更長時間維持,對表面科學研究很重要。
地球和月球中間的真空度是10-7Pa,地球和太陽中間的真空度是10-9Pa,銀河系邊緣的真空度是10-14Pa。
不同壓強下的氣體分子狀態見表1.1。
真空度的表述單位有多種,目前的國際單位是帕斯卡Pa(N·m-2),此外比較常用的還有毫米汞柱(mmHg)、Torr、巴(1bar=105Pa)、通過kg和cm表述的單位面積壓力(kgf·cm-2)、通過每平方英寸所受英磅壓力表述的psi、標準大氣壓atm和水柱高mH2O等。各種壓強單位的換算關系參照附表1。